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 全息光栅干涉条纹三维锁定系统的设计

钱国林 吴建宏 李朝明 成珏飞

[摘要]全息曝光系统中干涉条纹的稳定性直接影响光栅掩模质量。研究了参考干涉条纹的特性, 提出一种光栅相位、倾斜度和周期的检测方法。为提高光栅曝光系统的稳定性, 设计了一套全息光栅干涉条纹三维锁定系统。利用摄像机对...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(04):0405001

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